화학물질안전원, 반도체 특화 가스 누출 차단 설비 개발

환경부 소속 화학물질안전원 이 반도체 및 디스플레이 산업 내 화학사고 위험을 줄이기 위해 ‘신속 누출 탐지 및 자동 차단 기술’을 적용한 가스공급설비를 시범 설치한다고 5일 밝혔다.

반도체와 디스플레이 제조 공정은 특성상 독성과 인화성이 높은 가스를 다량으로 사용하는 업종이다.

이로 인해 가스가 누출될 경우 피해 범위가 넓고 인명 피해 가능성도 높은 만큼, 누출 발생 즉시 탐지하고 빠르게 차단하는 기술이 필수적이다.

특히 고압가스를 사용하는 가스공급설비(캐비닛)에서 누출이 발생하면, 가스를 신속히 포집해 중화처리 설비로 이송하는 것이 중요하다.

그러나 기존에는 감지 속도가 느려 누출된 가스가 실내에 유입돼 노동자 피해로 이어지는 사례도 발생했다.

이에 화학물질안전원은 2023년부터 반도체 및 디스플레이 업종의 화학사고 위험성을 분석해 왔으며, 이를 해결하기 위한 방안으로 초음파 기반의 가스 누출 탐지 기술을 개발했다.

이 기술은 누출 가스를 빠르게 인지하고 실내로 유입되기 전 자동 차단하는 기능을 갖추고 있으며, 현재 국내외에 특허를 출원한 상태다.

현장 적용을 위해 화학물질안전원은 2024년 6월 에스엠인스트루먼트㈜와 협업해 초음파 탐지기 시제품을 개발했다.

이어 반도체 기업 SK실트론㈜에 시범적으로 해당 기술을 설치해 실효성을 검증하는 사업을 진행 중이다.

이번 시범 설치는 고위험 공정에서의 사고를 예방하고 작업자 안전 확보에 중요한 전환점이 될 것으로 기대된다.

박봉균 화학물질안전원장은 “앞으로도 현장 중심의 안전 기술 개발을 지속해 우리 기업들이 보다 안전한 환경을 만들 수 있도록 적극 지원하겠다”고 밝혔다.

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배동현([email protected]) 기사제보